报告名称：[项目名称] 业务需求与数据目标报告
版本：V1.0
日期：[2025-9-4]
编制人：[李晓睿/数字智能部]
审核人：[姓名/部门]
- 引言
1.1 背景与业务场景
• 项目发起背景（业务痛点、现有问题等）
工艺类型：PECVD-NDC
机台：NDCVD97
腔室：CM2
工艺名称：SiCN-200A薄膜沉积
工艺难度大
• 相关方（业务方等）
N8工艺工程师 张嘉显
1.2 报告目的与范围
• 明确核心目标（指导后续建模方向）
• 界定项目边界（不包含的业务场景或问题） - 业务目标
2.1 核心目标
• 具体目标
• 目标优先级
2.2 业务产出与评价标准
• 成功指标（业务方认可的量化标准，如“模型上线后3个月内验证效果”）
• 辅助指标（如“模型解释性满足业务可理解性要求”） - 术语与定义
工艺配方（Recipe）共六个因子： - Ampoule流量（反应源，单位：sscm）
- NH3流量
- He流量
- Pressure（单位：torr）
- HFRFPwr（单位：W）
- LFRFPwr
五个表征薄膜的指标的定量关系： - THK （膜厚，单位：A）：200A±6
- Particle（颗粒数）：小于20ea
- Uniformity（均匀度，1sigma%）小于3%
- Stress（应力，MPa）：-130MPa±50
- RI（折射率）：1.896±0.001
- 需求风险分析
4.1 需求与假设约束
• 核心假设
• 约束条件
4.2 风险对策
• 潜在风险（如数据不足、业务目标模糊）
实验推进进度、数据不足
• 应对措施（如补充数据、定期与业务方对齐目标） - 数据挖掘目标
• 转化业务目标为技术目标
• 模型评价指标 - 模型计划
• 技术框架（如“Python+Scikit-learn”）
• 算法方向（如“优先尝试XGBoost，备选LightGBM”）
尝试MLP网络
• 时间节点（关键里程碑：需求确认、数据准备、模型上线等）
附录
• 参考资料（业务文档等）
